ATM-12000DR
概要
本装置は8インチ, 12インチウェーハをダイシングフレームにマウントした後、ウェーハ表面より保護テープを剥離する全自動機です
特長:
ウェーハを真空中で貼付けるため気泡の混入がなく貼付けが可能です。
また、低荷重での貼付けが可能となり、ウェーハにダメージを与えません。
保護テープ剥離に独自に先端ヒートプレス方式の採用により、安定した剥離が可能です。
ロールタイプ／プリカットタイプダイシングテープの共用仕様にも対応可能。（オプション）
Hitz日立造船の有機EL製造装置は、
Hitz日立造船の有機EL製造装置は、マルチアパーチャー方式を採用した面蒸発源により、
高生産性と高材料利用効率を実現します。静止成膜方式であるため、大型基板対応も可能です。
また、有機ELデバイスの試作や材料開発用として、さまざまな蒸着装置の提案・設計・製造も行っています。単独蒸着室だけの小型装置から、複数の蒸着室、搬送室等で構成するクラスター型の大型装置まで、さまざまなタイプを提供できます。
Hitz日立造船の飲料・食品充填包装ラインシステムは、
重量式充填機を採用したライン構築に取り組んでおり、飲料、調味料、乳製品、酒類などを衛生的・経済的に生産することができます。
さまざまな液種、多品種製品への対応が可能です。
Hitz日立造船は、FPD、半導体・電子部品および太陽電池関連分野において、
研究開発用から量産用までの各種真空装置（蒸着装置・スパッタ装置など）を設計・製造しています。また、各種真空装置およびロール to ロール連続成膜装置によりサンプル成膜を提供し、お客様に最適な装置を提案します。
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